안녕하세요?

저희는 반도체 공정있는 제조업체 입니다.

다름이아니오라 국소배기장치 자체검사와 관련하여 문의 드립니다.

저희는 공정 특성상 제품을 약품으로 많이 세정 하고 있습니다.

물론 배기 장치가 다 되어 있는 AUTO 세정장비로 말입니다.

그런데 반도체 공정은 아시다시피 음,양압으로 관리되기 때문에

배기는 확실히 됩니다.

그리고 만약 배기가 되지 않으면 공정 내부가 오염되기 때문에

항상 현장이랑 설비부서에 관리를 철저히 하고 있습니다.

각 배기구에 게이지도 모두 달려 있구요.

이렇게 잘 관리 되고 있어도 자체 검사를 실시 해야 하나요?